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X-FAB引入圖像傳感器背照技術(shù)增強(qiáng)CMOS傳感器性能

發(fā)布日期:2024-04-19 點(diǎn)擊次數(shù):217
來(lái)源:X-FAB 作者:X-FAB 
    中國(guó)北京,2024年4月9日——全球公認(rèn)的卓越的模擬/混合信號(hào)晶圓代工廠(chǎng)X-FAB Silicon Foundries(“X-FAB”)今日宣布,其光學(xué)傳感器產(chǎn)品平臺(tái)再添新成員——為滿(mǎn)足新一代圖像傳感器性能的要求,X-FAB現(xiàn)已在其備受歡迎的CMOS傳感器工藝平臺(tái)XS018(180納米)上開(kāi)放了背照(BSI)功能。
BSI工藝截面示意圖
    通過(guò)BSI工藝,成像感光像素性能將得到大幅增強(qiáng)。這一技術(shù)使得每個(gè)像素點(diǎn)接收到的入射光不會(huì)再被后端工藝的金屬層所遮擋,從而大幅提升傳感器的填充比,最高可達(dá)100%。由于其能夠獲得更高的像素感光靈敏度,因而在暗光條件下,這種優(yōu)勢(shì)尤為顯著。同時(shí),由于光路縮短,BSI工藝還能有效減少相鄰像素間的串?dāng)_,進(jìn)而提升圖像的成像質(zhì)量。盡管目前BSI技術(shù)已經(jīng)相當(dāng)普遍地應(yīng)用于300毫米晶圓,并廣泛用在消費(fèi)級(jí)的小像素圖像傳感器上,但針對(duì)200毫米晶圓市場(chǎng),主要應(yīng)用在工業(yè)醫(yī)療汽車(chē)等領(lǐng)域;或者對(duì)于需要通過(guò)拼接式大像素圖像傳感器,尤其是在需要額外定制化的場(chǎng)景中,市場(chǎng)上BSI工藝的選擇卻十分有限。因此,X-FAB在原有廣受好評(píng)的CMOS傳感器工藝平臺(tái)XS018中新加入了BSI功能,為不同細(xì)分市場(chǎng)帶來(lái)全新可能性,無(wú)論是X射線(xiàn)診斷設(shè)備、工業(yè)自動(dòng)化系統(tǒng)、天文研究,還是機(jī)器人導(dǎo)航、車(chē)載前置攝像頭等,客戶(hù)都能夠輕松地應(yīng)對(duì)最嚴(yán)苛的應(yīng)用需求。
BSI工藝和標(biāo)準(zhǔn)可見(jiàn)光波段抗反射層(左),晶圓采用了BSI工藝和近紅外波段抗反射層(右)
    XS018 CMOS傳感器平臺(tái)具有讀出速度快、暗電流低等特點(diǎn),客戶(hù)還能夠在該平臺(tái)選擇多種不同的外延層厚度從而實(shí)現(xiàn)針對(duì)不同應(yīng)用場(chǎng)景的圖像傳感器。除此之外,通過(guò)BSI工藝,客戶(hù)還可選擇添加ARC層,并可以根據(jù)不同的特殊應(yīng)用要求進(jìn)行調(diào)整。隨附的X-FAB設(shè)計(jì)支持包覆蓋了從初始設(shè)計(jì)到工程樣品裝運(yùn)的完整工作流程,其中還包括完善的PDK。
    “BSI技術(shù)能夠?qū)⒏泄庠糜诟咏庠吹奈恢?,并避免不必要的電路阻礙來(lái)提高圖像成像能力,因此在現(xiàn)代成像器件中得到日益廣泛的應(yīng)用。事實(shí)證明,這在暗光環(huán)境中非常有用。”X-FAB光學(xué)傳感器技術(shù)營(yíng)銷(xiāo)經(jīng)理Heming Wei表示,“盡管此類(lèi)應(yīng)用之前主要集中在消費(fèi)電子領(lǐng)域,但目前工業(yè)、汽車(chē)和醫(yī)療市場(chǎng)也涌現(xiàn)出大量需求。借助X-FAB的BSI工藝,可以集合更高感光度、更大傳感器尺寸以及像素容量等優(yōu)勢(shì),推出市場(chǎng)信服的產(chǎn)品,更大程度滿(mǎn)足工業(yè),汽車(chē),醫(yī)療不同的應(yīng)用需求。”
    縮略語(yǔ):
    ARC        抗反射涂層
    BSI        背照技術(shù)
    CMOS        互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體
    PDK        工藝設(shè)計(jì)套件
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關(guān)于X-FAB:
    X-FAB是領(lǐng)先的模擬/混合信號(hào)和MEMS晶圓代工集團(tuán),生產(chǎn)用于汽車(chē)、工業(yè)、消費(fèi)、醫(yī)療和其它應(yīng)用的硅晶圓。X-FAB采用尺寸范圍從1.0μm至110nm的模塊化CMOS和SOI工藝,及其特色SiC與微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)長(zhǎng)壽命工藝,為全球客戶(hù)打造最高的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)、卓越的制造工藝和創(chuàng)新的解決方案。X-FAB的模擬數(shù)字集成電路(混合信號(hào)IC)、傳感器MEMS在德國(guó)、法國(guó)、馬來(lái)西亞和美國(guó)的六家生產(chǎn)基地生產(chǎn),并在全球擁有約4,200名員工。www.xfab.com
















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